Temperature control of diffusion/CVD furnaces using robust multivariable loop-shaping techniques

Kostas Tsakalis, Jose Job Flores-Godoy, Kevin Stoddard

Producción científica: Contribución a una revistaArtículo de la conferenciarevisión exhaustiva

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Temperature control of diffusion/CVD furnaces using robust multivariable loop-shaping techniques'. En conjunto forman una huella única.

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